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Globale Planarisierung ist die Einhaltung von Dicken vom Grundmaterial und Schichtstrukturen auf Waferniveau
Kurzfassung: Das Prinzip der Schüttgutförderung mittels Ultraschall-Wanderwellen ist bereits seit Anfang der 1990er-Jahre bekannt
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Dieses Fertigungsverfahren erfordert jedoch hohen Aufwand
Fluenz und Pulsüberlappung auf die Abtragsqualität und -effizienz charakterisiert
978-3-95900-120-5 Umformmaschinen Globale Planarisierung ist die EinhaltungModellierung und Analyse von Wanderwellen in Hohlzylindern beim Ultraschall Wanderwellentransport von Schttgtern Autor: Andreas Renner ISBN: 978 3 95900 120 5 Dissertation, Leibniz Universitt Hannover, 2017 Herausgeber der Reihe: Jrg Wallaschek Band Nr.: IDS 01 2017 Umfang: 196 Seiten, 101 Abbildungen Schlagworte: Wanderwellen, Hohlzylinder, Wanderwellentransport Kurzfassung: Das Prinzip der Schttgutfrderung mittels Ultraschall Wanderwellen ist
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